機械電子研究所 化学試験及び分析設備

走査形オージェ電子顕微鏡

機器概要 真空中で細く絞られた電子ビームを試料に照射し、そこから放出されたオージェ電子を分光検出することで試料表面の観察と同時に元素分析を行う。 主な用途 機械部品、電子部品の微小表面の元素分析及び解析

設備名	走査形オージェ電子顕微鏡
メーカー名	日本電子(株)
型式	JAMP-7100
導入年	H01年度
仕様	Ｌｉ〜Ｕ点分析、線分析、面分析 最大加速電圧：２５ｋＶ、最小ビーム径：２５ｎｍ 最大試料：φ２５ｍｍ
設置場所	機械電子研究所