機械電子研究所 化学試験及び分析設備

高分解能走査型電子顕微鏡


高分解能走査型電子顕微鏡【133307150021.jpg】
機器概要

試料表面に電子線を照射し、試料から発生する2次電子等を検出して高分解能な表面形態観察を行う。
主な用途

各種材料の拡大形態観察

設備名 高分解能走査型電子顕微鏡
メーカー名 日本電子(株)
型式 JSM-6301F
導入年 H05年度
仕様 倍率:20倍〜300,000倍
元素分析:B〜U
設置場所 機械電子研究所