機械電子研究所 化学試験及び分析設備

高分解能走査型電子顕微鏡

機器概要 試料表面に電子線を照射し、試料から発生する2次電子等を検出して高分解能な表面形態観察を行う。 主な用途 各種材料の拡大形態観察

設備名	高分解能走査型電子顕微鏡
メーカー名	日本電子(株)
型式	JSM-6301F
導入年	H05年度
仕様	倍率：２０倍〜３００，０００倍 元素分析：Ｂ〜Ｕ
設置場所	機械電子研究所