ものづくり研究開発センター 化学試験及び分析設備
リアルサーフェイス顕微鏡
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機器概要クリーンルーム内で作製した各種マイクロチップの微細立体構造や表面性状を、蒸着などの前処理なく、広範囲の倍率で観測・計測ができます 主な用途クリーンルーム内で作製した各種マイクロチップの微細立体構造や表面性状を観測・計測 |
| 設備名 | リアルサーフェイス顕微鏡 |
| メーカー名 | (株)キーエンス VE-7800 |
| 型式 | VE-7800 |
| 導入年 | H16年度 |
| 仕様 | 倍率：１５倍〜１００，０００倍（観察モード・対象物で変わります） 観察像：２次電子像 最大試料サイズ：φ６４ｍｍ 計測機能：２点間距離、角度ほか |
| 設置場所 | ものづくり研究開発センター |