ものづくり研究開発センター 材料製品試験設備

微小硬度計

主な用途 ＣＶＤ、ＰＶＤ等で作製した薄膜の硬さ測定

設備名	微小硬度計
メーカー名
型式
導入年	S63年度
仕様	荷重：０．２ｇｆ〜２，０００ｇｆ 対物レンズ：１００倍、１０倍 最小計測単位：０．１μｍ
設置場所	ものづくり研究開発センター