ものづくり研究開発センター 材料製品試験設備

ナノインデンター

機器概要 試験試料に接触した圧子に荷重を加え、その変位と荷重の特性から、試料の硬さや剛性率を試験するもの 主な用途 厚さ数十ｎｍ〜１μｍの膜の硬さや剛性率など機械的特性の評価、硬さの面分布や深さ分布の測定による表層の状態解析

設備名	ナノインデンター
メーカー名	(株)フィッシャー・インストルメンツ
型式	HM500
導入年	H18年度
仕様	荷重範囲：　０．００１ｍＮ〜５００ｍＮ 最大押し込み深さ：０μｍ〜１５０μｍ
設置場所	ものづくり研究開発センター