ものづくり研究開発センター 測定計測設備

微細形状測定装置

主な用途 試料表面の段差、表面粗さ、形状などの触針による測定・計測

設備名	微細形状測定装置
メーカー名	(株)小坂製作所
型式
導入年	H15年度
仕様	接触型形状測定装置：測定力：１ｍｇ〜５０ｍｇ 走査距離：８０ｍｍ
設置場所	ものづくり研究開発センター