ものづくり研究開発センター その他
可変風量システム付ドラフトチャンバー
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主な用途基板の洗浄やエッチング、フォトリソグラフィ工程におけるレジスト塗布及び現像を安全に作業するために必要な環境の提供。安全な作業に最適な排気風量を自動制御にて確保可能です。 |
| 設備名 | 可変風量システム付ドラフトチャンバー |
| メーカー名 | （株）ダルトン |
| 型式 | − |
| 導入年 | H21年度 |
| 仕様 | エッチング・洗浄用塩化ビニル製ドラフトチャンバー 有機洗浄用SUS製ドラフトチャンバー アルカリ現像、エッチング用塩化ビニル製ドラフトチャンバー レジスト塗布用SUS製クリーンドラフトチャンバー 可変風量システム |
| 設置場所 | ものづくり研究開発センター |