ものづくり研究開発センター その他

機能性洗浄水製造装置

主な用途 超純水を原料とした高濃度のオゾンを溶解した水により、汚れなどの有機物の除去、材料の表面改質を行います。。

設備名	機能性洗浄水製造装置
メーカー名	野村マイクロ・サイエンス(株)
型式	−
導入年	H21年度
仕様	オゾン水濃度：100ppm以上 オゾン水流量：１L/min 温オゾン水：（50℃以上）供給機能
設置場所	ものづくり研究開発センター