TITC
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主要備品
ものづくり研究開発センター 加工設備
イオンビームスパッタ装置
主な用途
薄膜材料の作製(電子材料超硬材料)
設備名
イオンビームスパッタ装置
メーカー名
三菱電機(株)製
型式
導入年
S63年度
仕様
カウフマン型イオン源
クラスタ型イオン源
ターボ分子ポンプ
設置場所
ものづくり研究開発センター
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