ものづくり研究開発センター 加工設備

イオンビームスパッタ装置


イオンビームスパッタ装置【133317090004.jpg】
主な用途

薄膜材料の作製(電子材料超硬材料)

設備名 イオンビームスパッタ装置
メーカー名 三菱電機(株)製
型式
導入年 S63年度
仕様 カウフマン型イオン源
クラスタ型イオン源
ターボ分子ポンプ
設置場所 ものづくり研究開発センター