ものづくり研究開発センター 加工設備

イオンビームスパッタ装置

主な用途 薄膜材料の作製（電子材料超硬材料）

設備名	イオンビームスパッタ装置
メーカー名	三菱電機(株)製
型式
導入年	S63年度
仕様	カウフマン型イオン源 クラスタ型イオン源 ターボ分子ポンプ
設置場所	ものづくり研究開発センター