ものづくり研究開発センター 加工設備

レーザ薄膜除去装置

主な用途 パルスレーザによる表面のトリミング

設備名	レーザ薄膜除去装置
メーカー名
型式
導入年	H14年度
仕様	エネルギー密度：２７Ｊ／ｍｍ２　　　（５５倍レンズ） ステージ移動：５０ｍｍ×５０ｍｍ×１０ｍｍ
設置場所	ものづくり研究開発センター