機械電子研究所 加工設備

試料断面作製装置

機器概要 試料にアルゴンイオンビームを照射し、数mm程度の幅で試料の研磨課工を行い、SEM観察や元素分析を行う試料を作製 主な用途 各種材料の断面のＳＥＭ観察や元素分析等を行う際の前処理

設備名	試料断面作製装置
メーカー名	(株)日立ハイテクノロジーズ
型式	E-3500
導入年	H19年度
仕様	最大加工スピード：Ｓｉ換算で１００μｍ／ｈ． 加工範囲：数ｍｍ 最大試料サイズ：２０ｍｍ×１２ｍｍ×５ｍｍ
設置場所	機械電子研究所