機械電子研究所 加工設備

3極マグネトロンスパッタ装置



主な用途

電子部品用薄膜の試作

設備名 3極マグネトロンスパッタ装置
メーカー名 アネルバ製
型式 SPF−332H
導入年 S62年度
仕様 φ75mm×3mm
水冷、加熱付
設置場所 機械電子研究所