TITC
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主要備品
機械電子研究所 加工設備
3極マグネトロンスパッタ装置
主な用途
電子部品用薄膜の試作
設備名
3極マグネトロンスパッタ装置
メーカー名
アネルバ製
型式
SPF−332H
導入年
S62年度
仕様
φ75mm×3mm
水冷、加熱付
設置場所
機械電子研究所
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TITC