TITC
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主要備品
ものづくり研究開発センター 加工設備
ウエハー接合装置
機器概要
MEMSセンサやバイオセンサの基板貼り付け等に用いられます。シリコンとガラスの陽極接合ではハーメチックシールも可能です。
主な用途
MEMSセンサやバイオセンサの基板貼り付け
設備名
ウエハー接合装置
メーカー名
ズース・マイクロテック
型式
CB6L
導入年
H20年度
仕様
・試料サイズ:1インチ角〜4インチ径
・高真空排気:ターボ分子ポンプ
・接合:陽極接合、加圧接合等
設置場所
ものづくり研究開発センター
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