ものづくり研究開発センター 加工設備

ウエハー接合装置


ウエハー接合装置【133317130033.jpg】
機器概要

MEMSセンサやバイオセンサの基板貼り付け等に用いられます。シリコンとガラスの陽極接合ではハーメチックシールも可能です。
主な用途

MEMSセンサやバイオセンサの基板貼り付け

設備名 ウエハー接合装置
メーカー名 ズース・マイクロテック
型式 CB6L
導入年 H20年度
仕様 ・試料サイズ:1インチ角〜4インチ径
・高真空排気:ターボ分子ポンプ
・接合:陽極接合、加圧接合等
設置場所 ものづくり研究開発センター