機械電子研究所 化学試験及び分析設備

全自動蛍光Ｘ線分析装置

機器概要 試料にX線を照射することで発生する蛍光X線を測定し、多元素を同時に定性および定量分析する。 主な用途 電子材料、部品の元素分析（定性・定量分析）

設備名	全自動蛍光Ｘ線分析装置
メーカー名	理学電機工業(株)
型式	RIX3100
導入年	H10年度
仕様	Ｘ線管：Ｒｈ４ｋＷ 視野制限絞り：３ｍｍφ〜３０ｍｍφ 分析元素範囲：Ｂｅ〜Ｕ（波長分散型）
設置場所	機械電子研究所