ものづくり研究開発センター 化学試験及び分析設備

薄膜Ｘ線回折装置

機器概要 Ｘ線回折法により材料及びその表面の結晶構造解析を行う。特に光学系として 平行ビーム系をもち、薄膜材料の結晶型や膜厚などの解析を行う 主な用途 薄膜材料の結晶型や膜厚などの解析

設備名	薄膜Ｘ線回折装置
メーカー名	（株）マック・サイエンス
型式	MAC-MXP3A
導入年	H13年度
仕様	Ｘ線発生部：３ｋＷ発生装置Ｃｕ管球 測角範囲：−３°〜１５０° 試料台：最大φ１００ｍｍ×３ｍｍ
設置場所	ものづくり研究開発センター