機械電子研究所 測定計測設備
マイクロフォーカスＸ線ＣＴ装置
 |
機器概要試料にマイクロフォーカスX線を照射し、その透過信号をコンピュータで信号処理することでマイクロメータオーダの高分解能の透過画像や断面画像を得る 主な用途機械部品や電子部品などのＸ線透過画像の撮影、ハンダなど小さな部位の高分解能ＣＴ画像（断面）を非破壊で作成、記録 |
| 設備名 | マイクロフォーカスＸ線ＣＴ装置 |
| メーカー名 | 東芝ITコントロールシステム(株) |
| 型式 | TOSCANER-32250μhd |
| 導入年 | H18年度 |
| 仕様 | ＣＴ画像の最高空間分解能：５μｍ Ｘ線管電圧範囲：３０ｋＶ〜２２５ｋＶ コーンビームＣＴのスキャンモード：フルスキャン、ハープスキャン、オフセットのスキャン |
| 設置場所 | 機械電子研究所 |