ものづくり研究開発センター　その他

大容量超純水製造装置

主な用途 半導体製造に供する超純水の製造

設備名	大容量超純水製造装置
メーカー名	オルガノ(株)
型式
導入年	H14年度
仕様	比抵抗値：１８ＭΩ・ｃｍ以上 ＴＯＣ：１００μｇ／Ｌ以下 採水量：ｍａｘ１０００Ｌ／時
設置場所	ものづくり研究開発センター