機械電子研究所 化学試験及び分析設備

Ｘ線マイクロアナライザー

機器概要 加速した電子線を試料に照射して、そこから発生する特性X線から微小領域の元素分析を行う。 主な用途 電子部品等の微小部分の元素の種類および分布状態の分析

設備名	Ｘ線マイクロアナライザー
メーカー名	日本電子(株)
型式	JXA-8800RL
導入年	H11年度
仕様	倍率：４０倍〜３０，０００倍 最大試料径：φ３２ｍｍ×１５ｍｍ 分光器：波長分散型４基、分光結晶８個 Ｂ〜Ｕ対応
設置場所	機械電子研究所