ものづくり研究開発センター 化学試験及び分析設備
電子線マイクロアナライザー
 |
機器概要金属材料、無機材料等の元素の定性分析及び定量分析、元素の分布測定（線、面分析）、化合物の結合状態の分析（相分析）、微小領域の表面観察など、素材や製品等についてサブミクロンからセンチメートルまでの領域の「どこに」、「何が」、「どれくらい」、「どんな形で」、「あるか」を分析、評価することができます。 主な用途金属材料、無機材料等の元素の定性分析及び定量分析、元素の分布測定（線、面分析） |
| 設備名 | 電子線マイクロアナライザー |
| メーカー名 | 日本電子(株) |
| 型式 | JXA-8200 |
| 導入年 | H17年度 |
| 仕様 | 分析元素範囲：Ｂ〜Ｕ 最大加速電圧：４０ｋＶ フィラメント：ＬａＢ６とＷの併用 ２次電子分解能：５ｎｍ以下（ＬａＢ６フィラメント） Ｘ線分光器数：５基 |
| 設置場所 | ものづくり研究開発センター |