生活工学研究所 測定計測設備

厚さ計

主な用途 各種薄膜の厚さ、段差等の評価や表面のキズ、凹凸等の表面形状の評価

設備名	厚さ計
メーカー名	(株)東京精密
型式
導入年	H07年度
仕様	測定範囲：縦８００μｍ、横１００ｍｍ 測定倍率：縦５０倍〜５００Ｋ倍、横１倍〜２Ｋ倍 検出器：触針式、非接触式
設置場所	生活工学研究所