ものづくり研究開発センター 加工設備

炉心管洗浄装置

主な用途 酸化・拡散用石英管及び石英部品のフッ酸洗浄、および半導体ウエーハのＲＣＡ洗浄等

設備名	炉心管洗浄装置
メーカー名	ジャパンクリエイト��
型式	AQC-6301S
導入年	H16年度
仕様	１槽式フッ酸及び純水洗浄機能とクリーンドラフトチャンバー機能を装備
設置場所	ものづくり研究開発センター