ものづくり研究開発センター　加工設備

マスクアライナー

主な用途 電子デバイスの微細パターンの作成

設備名	マスクアライナー
メーカー名	カールズース
型式	ＭＪＢ３
導入年	H01年度
仕様	基板サイズ：φ３” 露光方式：ソフトコンタクト 　　　　　　　ハードコンタクト
設置場所	ものづくり研究開発センター