機械電子研究所 加工設備

精密薄膜作製装置

主な用途 金属、セラミックス材料による多層薄膜の作製

設備名	精密薄膜作製装置
メーカー名	ＵＬＶＡＣ
型式
導入年	H02年度
仕様	マグネトロンスパッタ装置 ＲＦ電源：１，０００Ｗ 到達圧力：１．３×１０−４Ｐａ
設置場所	機械電子研究所