ものづくり研究開発センター 測定計測設備

光干渉式膜厚測定装置
(ナノスペック段差計)


光干渉式膜厚測定装置<br>(ナノスペック段差計)【133321580236.jpg】
機器概要

光干渉方式により、基板上の薄膜等の膜厚、反射率等を評価する。
主な用途

フォトレジストや酸化膜等の膜厚測定。

設備名 光干渉式膜厚測定装置
(ナノスペック段差計)
メーカー名 ナノメトリクス・ジャパン(株)
型式 Nanospec
導入年 H11年度
仕様 膜厚測定範囲:100Å〜60μm 
測定波長範囲:400〜900nm  
設置場所 ものづくり研究開発センター