TITC
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主要備品
ものづくり研究開発センター 測定計測設備
光干渉式膜厚測定装置
(ナノスペック段差計)
機器概要
光干渉方式により、基板上の薄膜等の膜厚、反射率等を評価する。
主な用途
フォトレジストや酸化膜等の膜厚測定。
設備名
光干渉式膜厚測定装置
(ナノスペック段差計)
メーカー名
ナノメトリクス・ジャパン(株)
型式
Nanospec
導入年
H11年度
仕様
膜厚測定範囲:100Å〜60μm
測定波長範囲:400〜900nm
設置場所
ものづくり研究開発センター
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