機械電子研究所 測定計測設備

強誘電体テストシステム

機器概要 強誘電体の誘電（分極）特性および変位測定を行う 主な用途 強誘電体材料の物性測定及びこれを用いたデバイスの動作特性評価

設備名	強誘電体テストシステム
メーカー名	東陽テクニカ(株)
型式	FCE-1
導入年	H12年度
仕様	波形発生部：最大電圧　±４ｋＶ　 荷電測定範囲：５ｐＣ〜５０μＣ　　 変位測定範囲：５ｎｍ〜４０ｎｍ
設置場所	機械電子研究所