ものづくり研究開発センター 加工設備

マスクボンディングアライナー


マスクボンディングアライナー【133321580314.jpg】
機器概要

半導体微細加工において、微細パターン形成及びマスクアライメントを行う。フォトマスクに描かれたパターンを、感光剤が塗られた基板に転写したり、ガラスとシリコンを重ねて接合する際に、両者間の位置合わせをすることが可能である。
主な用途

フォトリソグラフィや2接合する2枚の基板アライメント

設備名 マスクボンディングアライナー
メーカー名 ズース・マイクロテック(株)
型式 SUSS MA6 LH350 SPEC-TIT/01
導入年 H17年度
仕様 現像度:0.7μm以下
顕微鏡:上部・下部2視野 15mm
光学露光部:1インチ角、直径4インチ対応
設置場所 ものづくり研究開発センター