ものづくり研究開発センター 加工設備
マスクボンディングアライナー
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機器概要半導体微細加工において、微細パターン形成及びマスクアライメントを行う。フォトマスクに描かれたパターンを、感光剤が塗られた基板に転写したり、ガラスとシリコンを重ねて接合する際に、両者間の位置合わせをすることが可能である。 主な用途フォトリソグラフィや２接合する２枚の基板アライメント |
| 設備名 | マスクボンディングアライナー |
| メーカー名 | ズース・マイクロテック(株) |
| 型式 | SUSS MA6 LH350 SPEC-TIT/01 |
| 導入年 | H17年度 |
| 仕様 | 現像度：０．７μｍ以下 顕微鏡：上部・下部２視野 １５ｍｍ 光学露光部：１インチ角、直径４インチ対応 |
| 設置場所 | ものづくり研究開発センター |