機械電子研究所 化学試験及び分析設備

低真空ＳＥＭ

機器概要 材質を問わず表面形状を観察できるので、工業製品の表面形状や破損・汚れ等の状態を詳細に知ることができます。また、観察画面の元素分析を行うことができるので、異物の付着や混入など、品質管理やクレーム処理に利用できます。 主な用途 製品の表面形状や破損・汚れ等の観察、測定

設備名	低真空ＳＥＭ
メーカー名	日本電子（株）製
型式	ＪＳＭ−６６１０ＬＡ
導入年	H20年度
仕様	・最大試料サイズ：２００ｍｍφ×８０ｍｍｈ ・観察可能領域：１７８ｍｍφ ・観察倍率　：５倍〜５万倍以上 ・検出可能元素：Ｂｅ〜Ｕ ・チャンバー内観察用赤外線カメラ有 ・写真・分析結果のデジタル出力可能
設置場所	機械電子研究所