機械電子研究所 化学試験及び分析設備
オージェ電子分光分析装置
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機器概要試料表面に電子ビームを照射し、試料の極表面より出てきたオージェ電子を検出することで、微小かつ表面から極めて浅い領域に存在する元素の定性・定量分析および元素の面内分布・深さ方向分布を測定することができます。主な用途電子部品の電極、めっき、金属製品の変色など、金属の微小部分の観察や分析に利用できます。 |
| 設備名 | オージェ電子分光分析装置 |
| メーカー名 | 日本電子株式会社 |
| 型式 | JAMP-9500F |
| 導入年 | H23年度 |
| 仕様 |
・オージェ分析時の最小空間分解能：8nm以下 ・帯電中和機構付属 ・イオン銃による深さ方向分析が可能 |
| 設置場所 | 機械電子研究所 表面分析室 |