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機械電子研究所 化学試験及び分析設備

オージェ電子分光分析装置


オージェ電子分光分析装置
機器概要
 試料表面に電子ビームを照射し、試料の極表面より出てきたオージェ電子を検出することで、微小かつ表面から極めて浅い領域に存在する元素の定性・定量分析および元素の面内分布・深さ方向分布を測定することができます。
主な用途
 電子部品の電極、めっき、金属製品の変色など、金属の微小部分の観察や分析に利用できます。

設備名 オージェ電子分光分析装置
メーカー名 日本電子株式会社
型式 JAMP-9500F
導入年 H23年度
仕様 ・オージェ分析時の最小空間分解能:8nm以下
・帯電中和機構付属
・イオン銃による深さ方向分析が可能
設置場所 機械電子研究所 表面分析室

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