機械電子研究所　

走査型プローブ顕微鏡

機器概要 本装置は、試料表面を微小なプローブ（探針）で走査し、試料の3次元形状や局所的な物性（粘弾性、摩擦力、電流、表面電位、磁気勾配など）をナノスケールで観察する顕微鏡である。大型の試料や、液中・加熱冷却下での測定も可能である。 主な用途 金属・セラミックス・プラスチック製品などの3次元形状の観察がSEMよりも高い水平・垂直分解能で行える。ナノレベルの表面粗さ、微小な傷の検出、電子部品の電気的不具合の解析、繊維や医薬品の液中・高温・低温環境下での観察などに有効である。

設備名	走査型プローブ顕微鏡
メーカー名	ブルカー・エイエックスエス株式会社
型式	Dimension Icon
導入年	H24年度
仕様	・分解能：XY方向0.2nm、Z方向0.03nm ・最大試料サイズ：直径210mm、厚さ15mm ・測定モード：3次元形状、粘弾性、摩擦力、電流、表面電位、磁気力、圧電応答 ・測定雰囲気：大気中、液中、加熱冷却（-5℃〜250℃）
設置場所	機械電子研究所