電源立地地域対策交付金事業

機械電子研究所 

走査型プローブ顕微鏡


機器概要
本装置は、試料表面を微小なプローブ(探針)で走査し、試料の3次元形状や局所的な物性(粘弾性、摩擦力、電流、表面電位、磁気勾配など)をナノスケールで観察する顕微鏡である。大型の試料や、液中・加熱冷却下での測定も可能である。
主な用途
金属・セラミックス・プラスチック製品などの3次元形状の観察がSEMよりも高い水平・垂直分解能で行える。ナノレベルの表面粗さ、微小な傷の検出、電子部品の電気的不具合の解析、繊維や医薬品の液中・高温・低温環境下での観察などに有効である。

設備名 走査型プローブ顕微鏡
メーカー名 ブルカー・エイエックスエス株式会社
型式 Dimension Icon
導入年 H24年度
仕様 ・分解能:XY方向0.2nm、Z方向0.03nm
・最大試料サイズ:直径210mm、厚さ15mm
・測定モード:3次元形状、粘弾性、摩擦力、電流、表面電位、磁気力、圧電応答
・測定雰囲気:大気中、液中、加熱冷却(-5℃〜250℃)
設置場所 機械電子研究所