機械電子研究所　分析設備

オスミウムコーター

機器概要 　本装置は、試料表面にオスミウムを蒸着・コーティングすることで試料に導電性を与える装置です。複雑な形状の試料であっても、均一で薄い膜が安定して形成できます。 主な用途 　SEMによる表面観察やオージェ分析をおこなう試料の微細な表面に、導電性を付与するために利用されます。金コーターによる前処理では対応しきれない複雑な表面形状を有する試料において、均一なオスミウムの導電膜が、安定かつ容易に成膜できます。

設備名	オスミウムコーター
メーカー名	メイワフォーシス株式会社
型式	Neoc-Pro/PNM57
導入年	R06年度
仕様	・最小膜厚設定：0.5nm ・チャンバー寸法：150mm（直径）×70mm（高さ） ・試料台装　填可能数：10mm（直径）×35個、 　15mm（直径）×10個、30mm（直径）×5個
設置場所	機械電子研究所