電源立地地域対策交付金

機械電子研究所 化学試験及び分析設備

プラズマリアクター


機器概要
 本装置は、反応容器内の対象物に、酸素プラズマを照射することにより、対象物のクリーニングや表面の改質をすることができます。
主な用途
 フォトレジスト、フラックス、油膜等の除去や基板のクリーニング。多層コーティング膜の下地づくり。親水性付加等の表面改質。

設備名 プラズマリアクター
メーカー名 ヤマト科学株式会社
型式 PR-301
導入年 H27年度
仕様 ・反応容器容積:φ118mm×160mm(1.75L)
・プラズマ種:酸素プラズマ
・高周波電源:0〜300W、13.56 MHz
設置場所 機械電子研究所