機械電子研究所　化学試験及び分析設備

プラズマリアクター

機器概要 　本装置は、反応容器内の対象物に、酸素プラズマを照射することにより、対象物のクリーニングや表面の改質をすることができます。 主な用途 　フォトレジスト、フラックス、油膜等の除去や基板のクリーニング。多層コーティング膜の下地づくり。親水性付加等の表面改質。

設備名	プラズマリアクター
メーカー名	ヤマト科学株式会社
型式	PR-301
導入年	H27年度
仕様	・反応容器容積：φ118mm×160mm（1.75Ｌ） ・プラズマ種：酸素プラズマ ・高周波電源：0〜300W、13.56 MHz
設置場所	機械電子研究所