電源立地地域対策交付金事業

ものづくり研究開発センター 化学試験及び分析設備

走査型電子顕微鏡


機器概要
 本装置は、試料の表面に電子線を照射し、検出される二次電子や反射電子によって、高倍率で表面を観察するための設備です。 また、エネルギー分散型X線分析装置を備えており、特性X線による元素分析も可能です。

主な用途
 高倍率での表面観察・元素分析をすることができるため、付着した微小な異物等の分析や材料中の元素の分布など、品質管理から研究開発まで幅広い分野で有効的に活用することができます。

設備名 走査型電子顕微鏡
メーカー名 日本電子株式会社、オックスフォート・インストゥルメンツ株式会社
型式 JSM-IT300LV、X-MaxN
導入年 H28年度
仕様 ・走査型電子顕微鏡本体(SEM)
  加速電圧: 0.3kV〜30kV
  倍率: 5〜300,000倍
  最大試料寸法: 直径200mm×高さ80mm
・エネルギー分散型X線分析装置本体(EDS)
  方式: SDDタイプ(ペルチェ冷却)
  検出素子サイズ: 20mm2
  分析可能元素: B〜U
設置場所 ものづくり研究開発センター