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地域科学技術実証拠点整備事業

ものづくり研究開発センター CNF製品実証・試作拠点

イオンミリング装置


機器概要
  試料に、アルゴンイオンを照射し、試料原子を弾き飛ばすことで、任意の試料観察面(断面または表面)の加工・調整ができる装置です。また、-100℃まで冷却可能であり、低温環境下に試料を温度調節して加工する機能も有しています。
主な用途
 アルゴンイオンのスパッタリング現象を応用した加工のため、試料へのダメージを少なくでき、機械研磨などの従来手法では困難な材料でも適用可能です。
 本設備は、ひずみや熱影響を抑制できるため、セルロースナノファイバー(CNF)複合化プラスチック材料のCNF分散状態評価をはじめとした高度な試料調整に活用でき、製品開発や品質管理に貢献します。

設備名 イオンミリング装置
メーカー名 株式会社日立ハイテクノロジーズ
型式 冷却温度調整機能付きIM4000PLUS
導入年 H29年度
仕様 ・試料サイズ :20×12×7 mm(断面加工:線材など)
        φ50×25 mm(表面加工: 埋込試料など)
・最大加工速度:500 μm/hr(Si, 断面加工)
・温度調節範囲: -100〜0 ℃(断面加工のみ)
・加工可能材料: 樹脂材料、金属材料、セラミックス など
設置場所 ものづくり研究開発センター

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