ものづくり研究開発センター　CNF製品実証・試作拠点

イオンミリング装置

機器概要 　　試料に、アルゴンイオンを照射し、試料原子を弾き飛ばすことで、任意の試料観察面(断面または表面)の加工・調整ができる装置です。また、-100℃まで冷却可能であり、低温環境下に試料を温度調節して加工する機能も有しています。 主な用途 　アルゴンイオンのスパッタリング現象を応用した加工のため、試料へのダメージを少なくでき、機械研磨などの従来手法では困難な材料でも適用可能です。 　本設備は、ひずみや熱影響を抑制できるため、セルロースナノファイバー(CNF)複合化プラスチック材料のCNF分散状態評価をはじめとした高度な試料調整に活用でき、製品開発や品質管理に貢献します。

設備名	イオンミリング装置
メーカー名	株式会社日立ハイテクノロジーズ
型式	冷却温度調整機能付きIM4000PLUS
導入年	H29年度
仕様	・試料サイズ ：２０×１２×７ mm(断面加工：線材など) 　　　　　　　　φ５０×２５ mm(表面加工: 埋込試料など) ・最大加工速度：５００ μm/hr(Si, 断面加工) ・温度調節範囲： -100〜0 ℃(断面加工のみ) ・加工可能材料： 樹脂材料、金属材料、セラミックス など
設置場所	ものづくり研究開発センター