ものづくり研究開発センター　CNF製品実証・試作拠点

非接触３次元形状測定器

機器概要 　試料に光を照射し、表面形状に応じた干渉縞のデータを収集することで、試料の3次元表面性状（表面粗さ、うねり、段差）を、非接触で高精度かつ短時間に測定できる装置です。 主な用途 　セルロースナノファイバーを利用した製品等の各種製品の3次元表面性状を、表面を損傷させずに測定することができます。ウエハ等の極めて平滑な表面から、機械加工面、積層造形品表面などの粗い表面まで対応することができ、測定結果を基に、3次元粗さ、うねり、段差等を高さ方向にナノメートル以下の分解能で評価することができます。

設備名	非接触３次元形状測定器
メーカー名	ZYGO Corporation
型式	Nexview
導入年	H29年度
仕様	・垂直分解能：0.005 nm ・垂直測定範囲：20mm ・対物レンズ: 1倍、2.75倍、10倍、20倍、50倍、 　　　　　　　 100倍 ・観察視野：0.04 mm×0.04 mm 　　　　　　　 〜200 mm×200 mm 　　　　　　　（スティッチング使用時） ・測定原理：垂直走査低コヒーレンス干渉法 ・最大試料サイズ: 203 mm×203 mm×89 mm
設置場所	ものづくり研究開発センター