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地域科学技術実証拠点整備事業

ものづくり研究開発センター CNF製品実証・試作拠点

非接触3次元形状測定器


機器概要
 試料に光を照射し、表面形状に応じた干渉縞のデータを収集することで、試料の3次元表面性状(表面粗さ、うねり、段差)を、非接触で高精度かつ短時間に測定できる装置です。
主な用途
 セルロースナノファイバーを利用した製品等の各種製品の3次元表面性状を、表面を損傷させずに測定することができます。ウエハ等の極めて平滑な表面から、機械加工面、積層造形品表面などの粗い表面まで対応することができ、測定結果を基に、3次元粗さ、うねり、段差等を高さ方向にナノメートル以下の分解能で評価することができます。

設備名 非接触3次元形状測定器
メーカー名 ZYGO Corporation
型式 Nexview
導入年 H29年度
仕様 ・垂直分解能:0.005 nm
・垂直測定範囲:20mm
・対物レンズ: 1倍、2.75倍、10倍、20倍、50倍、
        100倍
・観察視野:0.04 mm×0.04 mm
        〜200 mm×200 mm
       (スティッチング使用時)
・測定原理:垂直走査低コヒーレンス干渉法
・最大試料サイズ: 203 mm×203 mm×89 mm
設置場所 ものづくり研究開発センター

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