機械電子研究所 測定計測設備

非接触三次元粗さ測定装置

機器概要 材料や製品の表面の三次元形状（うねり、段差、表面粗さ）を非接触で測定できる装置です。測定結果の三次元可視化やデータ出力もできます。 主な用途 ・部品や材料の表面形状や粗さの測定ができます。 ・基材と膜の間の段差を測定することで、膜厚を測定することができます。（不透明な膜のみ可） ・接触式プローブによる変形・損傷を嫌う柔軟材料の表面形状測定ができます。 ・SEM観察しづらい表面の凹凸観察に利用できます。

設備名	非接触三次元粗さ測定装置
メーカー名	Zygo Corporation
型式	NewView 7300
導入年	H21年度
仕様	・垂直分解能：0.1nm ・垂直測定範囲：20mm ・観察視野：0.05×0.05mm〜φ21.91mm ・測定原理：走査型白色干渉法及び周波数領域解析による ・データ出力：カラーマップ、数値データ
設置場所	機械電子研究所