機械電子研究所 測定計測設備

非接触三次元粗さ測定装置


機器概要

材料や製品の表面の三次元形状(うねり、段差、表面粗さ)を非接触で測定できる装置です。測定結果の三次元可視化やデータ出力もできます。
主な用途

・部品や材料の表面形状や粗さの測定ができます。
・基材と膜の間の段差を測定することで、膜厚を測定することができます。(不透明な膜のみ可)
・接触式プローブによる変形・損傷を嫌う柔軟材料の表面形状測定ができます。
・SEM観察しづらい表面の凹凸観察に利用できます。

設備名 非接触三次元粗さ測定装置
メーカー名 Zygo Corporation
型式 NewView 7300
導入年 H21年度
仕様 ・垂直分解能:0.1nm
・垂直測定範囲:20mm
・観察視野:0.05×0.05mm〜φ21.91mm
・測定原理:走査型白色干渉法及び周波数領域解析による
・データ出力:カラーマップ、数値データ
設置場所 機械電子研究所