ものづくり研究開発センター その他
可変風量システム付ドラフトチャンバー
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機器概要クリーンルーム内で薬品などを用いた作業を安全に行うことが装置です。クリーンドラフトは、クラス100の超清浄な環境を提供します。また、各装置は可変VAVを装備し、安全で省エネ化を実現しています。 主な用途コンタミネーションや事故の危険性が少ない半導体プロセスを提供します。クリーンドラフトでは埃のないレジスト塗布プロセスが行えます。 |
| 設備名 | 可変風量システム付ドラフトチャンバー |
| メーカー名 | 株式会社ダルトン |
| 型式 | EC-２-1200T型 EC-3-1200T型 SUS製クリーンドラフト |
| 導入年 | H21年度 |
| 仕様 | 塩ビ製、SUS製 VAV：可変風量システム装備 クリーンドラフトは、クラス１００のクリーン度 |
| 設置場所 | ものづくり研究開発センター |