ものづくり研究開発センター　その他

機能性洗浄水製造装置

機器概要 次世代の洗浄水といわれるオゾン水を製造する装置です。本装置は、100ppm以上のオゾン濃度を得られる性能を有し、フォトレジストなどの有機除去、表面改質などに使用できます。 主な用途 有機溶剤や強酸などの薬液洗浄の置き換え、環境にも優しい洗浄方法を提案します。半導体をはじめとする電子部品製造工程、医療医薬分野への応用が可能です。

設備名	機能性洗浄水製造装置
メーカー名	野村マイクロサイエンス株式会社
型式	NOM-1-150-C
導入年	H21年度
仕様	オゾン水濃度：100ppm以上 オゾン水温度：〜５０℃ オゾン水量：1L/min
設置場所	ものづくり研究開発センター