公益財団法人ＪＫＡ(旧日本自転車振興会)補助事業
本設備は、公益財団法人ＪＫＡ（旧日本自転車振興会）補助事業で導入しました。広く県内企業に開放しておりますので、是非、ご利用ください。
ものづくり研究開発センター 加工設備
小型スパッタ装置
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機器概要真空中にアルゴン及び酸素ガスを導入し、直流及び高周波マグネトロンスパッタにより、精密に薄膜を作製します主な用途ガラス、プラスチックス、金属などの基材の上に、高品質の金属膜、セラミックス膜を高速成膜 |
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| 設備名 | 小型スパッタ装置 |
| メーカー名 | アルバック(株) |
| 型式 | SH-250-T4 |
| 導入年 | H16年度 |
| 仕様 | ターゲットサイズ：３インチφ×３式 基板温度：最高４００℃ 電源：ＲＦ及びＤＣ各１基 逆スパッタリング、重畳放電及びバイアススパッタリングが可能 |
| 設置場所 | ものづくり研究開発センター |