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公益財団法人JKA(旧日本自転車振興会)補助事業

本設備は、公益財団法人JKA(旧日本自転車振興会)補助事業で導入しました。
広く県内企業に開放しておりますので、是非、ご利用ください。
ものづくり研究開発センター 加工設備

小型スパッタ装置


小型スパッタ装置
機器概要
真空中にアルゴン及び酸素ガスを導入し、直流及び高周波マグネトロンスパッタにより、精密に薄膜を作製します

主な用途
ガラス、プラスチックス、金属などの基材の上に、高品質の金属膜、セラミックス膜を高速成膜
リンリン競輪

設備名 小型スパッタ装置
メーカー名 アルバック(株)
型式 SH-250-T4
導入年 H16年度
仕様 ターゲットサイズ:3インチφ×3式 基板温度:最高400℃ 電源:RF及びDC各1基 逆スパッタリング、重畳放電及びバイアススパッタリングが可能
設置場所 ものづくり研究開発センター

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