機器概要電子線を試料に照射してSEM像を観察するとともに、発生する特性X線を検出して微小領域での元素分析、マッピング(二次元的な分布の分析)を行う装置である。波長分散型X線分光器を備え、微量元素の高感度分析が可能である。 |
主な用途電子部品、機械部品、その他様々な材料の微小領域での元素分析、マッピングに利用される。また、微小異物や微小異常部の元素分析、マッピングにも利用される。 |
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設備名 | X線マイクロアナライザー |
メーカー名 | 日本電子株式会社 |
型式 | JXA-8230 |
導入年 | H25年度 |
仕様 |
・分析元素範囲:B〜U ・二次電子分解能:5nm(LaB6フィラメントの場合) ・波長分散型X線分光器数:5基 ・加速電圧:0.2〜30kV |
設置場所 | 機械電子研究所 |