機器概要試料にX線を照射することで発生する蛍光X線を測定し、多元素を同時に定性および定量分析する。 |
主な用途電子材料、部品の元素分析(定性・定量分析) |
![]() |
![]() |
設備名 | 蛍光X線分析装置 |
メーカー名 | 株式会社リガク |
型式 | ZSX Primus II |
導入年 | H27年度 |
仕様 |
・X線管:Rh4kW ・視野制限絞り:0.5mmφ〜37mmφ ・分析元素範囲:Be〜U(波長分散型) |
設置場所 | 機械電子研究所 |