機器概要試料にX線を照射することで発生する蛍光X線を測定し、多元素を同時に定性および定量分析する。 | 
			
			
				主な用途電子材料、部品の元素分析(定性・定量分析) | 
		
				 
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| 設備名 | 蛍光X線分析装置 | 
| メーカー名 | 株式会社リガク | 
| 型式 | ZSX Primus II | 
| 導入年 | H27年度 | 
| 仕様 | 
・X線管:Rh4kW ・視野制限絞り:0.5mmφ〜37mmφ ・分析元素範囲:Be〜U(波長分散型)  | 
| 設置場所 | 機械電子研究所 |