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機器概要検査対象物に、焦点サイズ数μmのX線を照射しながらテーブルを回転させ、連続的に撮影された投影画像から、ソフトウェア処理により断層画像(CT画像)を高速再構成する。主な用途機械部品、電子部品,プラスチック製品などの内部を、非破壊で三次元的に撮影・記録することで、微細構造や欠陥状態の正確な把握や設計値との比較に役立てる。 |
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設備名 | マイクロフォーカスX線CT装置 |
メーカー名 | 株式会社島津製作所 |
型式 | inspeXio SMX-225CT FPD HR |
導入年 | H28年度 |
仕様 |
・最高空間分解能:4µm ・最大管電圧:225kV ・CTの走査モード:ノーマル走査、ハーフ走査、オフセット走査 |
設置場所 | 機械電子研究所 |