公益財団法人ＪＫＡ(旧日本自転車振興会)補助事業
本設備は、公益財団法人ＪＫＡ（旧日本自転車振興会）補助事業で導入しました。広く県内企業に開放しておりますので、是非、ご利用ください。
機械電子研究所 化学試験及び分析設備
マイクロX線光電子分光分析装置（μ-XPS）
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機器概要試料表面にＸ線を照射し、放出される光電子のエネルギーを測定することにより、表面から数nm程度の極表面に存在する元素組成が分析できます。イオン銃によるエッチングを併用することで深さ方向の元素の分布を調べることも可能です。主な用途各種材料、薄膜、電極等の表面元素分析、深さ方向分析 |
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| 設備名 | （μ-XPS） |
| メーカー名 | アルバック・ファイ株式会社 |
| 型式 | PHI5000 Versa ProbeⅢ |
| 導入年 | H30年度 |
| 仕様 |
・X線源：Alモノクロ、Mg、Zr ・最小分析径：10μmφ ・帯電中和機構 ・イオンエッチング：Arイオン銃、Arガスクラスターイオン銃(GCIB) |
| 設置場所 | 機械電子研究所 表面分析室 |