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機器概要試料表面から深さ方向への元素の分布を分析する装置発光波長から元素の種類が特定可能で、検量線があれば発光強度からその濃度情報を得ることも可能 主な用途多層合金メッキ、浸炭窒化処理鋼材、アルマイト皮膜、塗装皮膜等における膜の層構造の解明等に利用 |
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設備名 | グロー放電発光分光分析装置 |
メーカー名 | 株式会社堀場製作所 |
型式 | GD-Profiler2 |
導入年 | R2年度 |
仕様 | ・分析径:4mmφ、2mmφ ・測定元素範囲:H〜U ・測定チャンネル:45 ・深さ方向分析:検量線があれば濃度−厚み表示可能 ・パルススパッタによる低ダメージ・高分解能測定 |
設置場所 | 機械電子研究所 |