独立行政法人 科学技術振興機構(JST)
地域産学官共同研究拠点整備事業

本設備は、独立行政法人 科学技術振興機構(JST)　地域産学官共同研究拠点整備事業で導入しました。

ものづくり研究開発センター 機械分野設備

超精密切削加工機

機器概要 　ナノ～マイクロメートルオーダの形状精度を有する製品や金型を加工するための、5軸ナノ切削加工機です。引き切りやミリングなど3～5軸の各種加工法に対応しており、複雑形状の加工も可能です。加工後の形状を機上計測し、それを基にした補正加工をすることもできます。 主な用途 　光学、バイオ、医療をはじめとした、各種分野に要求される超精密部品を作製することができます。また機械加工であることから、材料種の選択肢が多く、形状の自由度の高いナノ加工を行うことができます。

設備名	超精密切削加工機
メーカー名	ファナック(株)
型式	ROBONANO α-0iB
導入年	H22年度
仕様	・分解能：直線軸（X, Y, Z軸）1 nm、回転軸（B, C軸） 1/1000000˚ ・移動量：水平軸 280×150 mm、垂直軸 40 mm、回転軸 360˚（連続回転可） ・最大送り速度：水平軸 500 mm/min（高速引き切り加工時 120 m/min） 、 垂直軸 50 mm/min、回転軸 250 rpm ・全軸に空気静圧軸受けを採用
設置場所	ものづくり研究開発センター