独立行政法人 科学技術振興機構(JST)
地域産学官共同研究拠点整備事業

本設備は、独立行政法人 科学技術振興機構(JST)　地域産学官共同研究拠点整備事業で導入しました。

ものづくり研究開発センター 機械分野設備

ナノインプリンティング装置

機器概要 　本装置では、超微細加工技術によって作製されたナノレベル（１ナノメートル＝10億分の1メートル）の凹凸が形成された金型（モールド）をもとに、ワーク上に超微細パターンを転写形成することが可能です。 主な用途 　ナノインプリント技術は、次世代半導体デバイス製造代替技術（リソグラフィー）、光学デバイス（LED、マイクロレンズ）、大容量ストレージメディア（高記録密度化）、ディスプレイ（有機ELディスプレイ）、太陽電池（全波長吸収加工）、バイオ・医療デバイス技術（μTAS、細胞チップ）への応用が検討されています。 　また、次世代自動車、携帯電話などのディスプレイ、燃料電池関連などへの応用も期待されます。

設備名	ナノインプリンティング装置
メーカー名	ズース・マイクロテック株式会社
型式	SUSS MicroTec MA6 SCIL
導入年	H22年度
仕様	・　UV（紫外線硬化）インプリント方式 ・　マスクアライナー（アライメント精度：±１μｍ以下) ・　レプリカモールド（PDMS）方式採用による低コスト化 ・　大面積（φ6inch　Max.）のインプリントに対応 ・　高い均一性
設置場所	ものづくり研究開発センター