独立行政法人 科学技術振興機構(JST)
地域産学官共同研究拠点整備事業
本設備は、独立行政法人 科学技術振興機構(JST) 地域産学官共同研究拠点整備事業で導入しました。ものづくり研究開発センター 機械分野設備
集束イオンビーム加工機
 |
機器概要金属素材や電子デバイスなどの製品に対し、局所的にイオンビームを照射することで透過型電子顕微鏡(TEM)用の薄片試料加工や表面に機能性付与のための微細形状加工などを行う加工観察装置です。主な用途TEM用試料加工（マイクロサンプリング ⇒ 薄片化）表面微細形状加工 断面加工観察 |
| 設備名 | 集束イオンビーム加工機 |
| メーカー名 | 株式会社日立ハイテク |
| 型式 | FB2200 |
| 導入年 | H22年度 |
| 仕様 | ・Ga液体金属イオン源 ・最大ビーム電流 60nA ・マイクロサンプリング機能 ・最大試料サイズ Φ75 × 15(h) mm |
| 設置場所 | ものづくり研究開発センター |