独立行政法人 科学技術振興機構(JST)
地域産学官共同研究拠点整備事業

本設備は、独立行政法人 科学技術振興機構(JST)　地域産学官共同研究拠点整備事業で導入しました。

ものづくり研究開発センター 共通分野設備

電界放出形走査電子顕微鏡

機器概要 　細く絞った電子線を試料表面に照射・走査し、発生する信号を検出して、微細構造の観察や元素組成分析、および結晶方位解析を行う装置です。 　サーマルショットキー電界放出形電子銃を使用しており、幅広い材料についてナノオーダーで表面観察することが可能であり、また大照射電流により分析にも適しています。 主な用途 　・二次電子像による表面構造の観察 　例）10万倍以上の高倍率での観察，照射エネルギーを制御した最表面の微細構造や絶縁体試料の観察など ・反射電子像による組成分布の観察 ・ナノ領域の元素組成分析 ・金属やセラミックスの結晶方位解析

設備名	電界放出形走査電子顕微鏡
メーカー名	日本電子株式会社
型式	JSM-7001FTTLS
導入年	H22年度
仕様	・電子銃　サーマルショットキー電界放出形電子銃 ・倍率　10倍～1,000,000倍 ・加速電圧　0.1kV～30kV ・照射電流　1pA～200nA ・分析機能　元素組成分析(EDS)，結晶方位解析(EBSD) EDS/EBSD同時測定可能
設置場所	ものづくり研究開発センター