独立行政法人 科学技術振興機構(JST)
地域産学官共同研究拠点整備事業
本設備は、独立行政法人 科学技術振興機構(JST) 地域産学官共同研究拠点整備事業で導入しました。ものづくり研究開発センター 共通分野設備
ＴＥＭ用試料作製装置
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機器概要試料にArイオンビームを照射し、電子線が透過できるように、数十nmの薄片化処理を行う。主な用途金属·高分子材料や製品の薄い試験片を透過型電子顕微鏡（ＴＥＭ）観察が出来るように数十nm の厚みの薄片に加工する。 |
| 設備名 | ＴＥＭ用試料作製装置 |
| メーカー名 | 日本電子(株) |
| 型式 | EM-09100IS |
| 導入年 | H22年度 |
| 仕様 | イオン加速電圧：１～8kV エッチングレート： Si 換算で5 μm/min エッチング自動停止機能 CCDカメラによる加工経過観察機能 |
| 設置場所 | ものづくり研究開発センター |