研究開発テーマ詳細

課題番号	2-002
タイトル	活性化反応性蒸着法による絶縁体薄膜の高品位化
研究者	本保栄治
研究期間	平成15〜16年度

年度	報告書　＜冒頭部分＞	研究報告本文	研究成果概要
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