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研究開発テーマ詳細

課題番号 2-013
タイトル ECRスパッタリング法による高性能透明導電膜の作製
研究者 本保栄治
研究期間 平成17年度


年度 報告書 <冒頭部分> 研究報告本文 研究成果概要
17 研究報告PDF 成果事例PDF




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