TITC
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研究開発テーマ詳細
課題番号
2-013
タイトル
ECRスパッタリング法による高性能透明導電膜の作製
研究者
本保栄治
研究期間
平成17年度
年度
報告書 <冒頭部分>
研究報告本文
研究成果概要
17
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